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Nordson March ist ein führender Hersteller von hochklassigen Plasmasystemen und ist einer der Pioniere dieser relativ neuen Technologie in der Mikroelektronik. Wichtige Einsatzgebiete sind die Behandlung von Leiterplatten, Substraten, Systemträgern, Wafern und vielen weiteren Produkten deren Oberflächen aktiviert und/oder von organischen Stoffen gereinigt werden soll.
Im Bereich Mikroelektronik werden nachweisbar die Haftqualität von Chips und Drahtbonds verbessert, für kritische Automobilelektronikteile ist Plasma heute standard. Das Underfill bei Flip Chip-Anwendungen ist schneller und führt zu besserer Benetzung. In vielen Fällen wird die Ausbeute signifikant erhöht, wobei aber die Zusammensetzung der Prozessgase, die Leistung und die Prozessdauer auf jede Anwendung genau abgestimmt und optimiert werden müssen.
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Direktes oder down stream Plasma, 600W bei 13,56 MHz.
Direktes oder down stream Plasma, grosse Kammer von 457x457x610mm, für bis zu 12 Magazine.
Oder – mit Handler – für in-line Anwendungen und hohen Durchsatz.
Bei Flip Chip-Anwendungen auf Wafer.
Rolf Nussbaumer
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